高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000
利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測(cè)量精度
這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了德魯克技術(shù)平臺(tái)的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級(jí)，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術(shù)（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍，并且具有極為堅(jiān)固的包裝，適用于惡劣的環(huán)境。
此外， RPS/DPS 8000產(chǎn)品線提供了各種壓力和電氣接頭，這樣就可以靈活地進(jìn)行定制，廣泛用于從航空航天到海底工程以及過程工程到工業(yè)儀器等領(lǐng)域。
利用全新的TERPS技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)
?高精度，±0.01% FS（在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)）
?高度穩(wěn)定，±100 ppm FS/年
? 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），**壓力
?溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）
? 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)，適用于惡劣環(huán)境
? 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485
當(dāng)開發(fā)這種新的TERPS技術(shù)時(shí)，我們主要是為了提供一種具有*高精度和穩(wěn)定性的傳感器，可以用于較大的壓力和溫度范圍；并且具有堅(jiān)固、可靠的包裝，可用于惡劣環(huán)境。
*高的精度和穩(wěn)定性
用硅改善性能：
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利用DRiE工藝進(jìn)行硅加工的示例
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DRiE工藝水
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我們?cè)谥圃霻ERPS諧振器元件時(shí)充分利用了硅的力學(xué)性能。
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為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計(jì)，我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
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精度為0.01% FS（100 ppm）
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穩(wěn)定性為0.01% FS/年（100 ppm）
壓力和溫度范圍大
硅熔融黏結(jié)工藝：
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TERPS僅根據(jù)硅的力學(xué)性能進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
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這種設(shè)計(jì)還可以通過硅熔融黏結(jié)（SFB）工藝在諧振器上黏結(jié)不同厚度的硅，以便于用于高達(dá)70 bar（1000 psi）的壓力范圍。
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TERPS 傳感器元件橫截面
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SFB硅層橫截面
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堅(jiān)固和可靠的包裝
深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至*低，并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。
全焊TERPS模塊可以使**設(shè)計(jì)工程師利用標(biāo)準(zhǔn)材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調(diào)節(jié)作用的電子設(shè)備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。
特色
?壓力和電氣接頭選擇范圍大，可滿足具體的要求
應(yīng)用
石油天然氣
現(xiàn)在對(duì)清潔、**和有效采油的要求與日俱增，所以在上游和中游的勘探、鉆井、采油和運(yùn)輸階段就需要按照很高的精度水平進(jìn)行測(cè)量。RPS/DPS 8000壓力傳感器就應(yīng)運(yùn)而生了。
應(yīng)用包括：
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井口監(jiān)測(cè)
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輸油監(jiān)測(cè)
航空航天
為了滿足對(duì)**和商用飛機(jī)性能與日俱增的要求，系統(tǒng)需要更為高效地工作，也需要更為精準(zhǔn)的測(cè)量和控制。
應(yīng)用包括：
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空氣數(shù)據(jù)試驗(yàn)系統(tǒng)
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環(huán)境控制系統(tǒng)
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液壓控制系統(tǒng)
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飛行試驗(yàn)
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地面試驗(yàn)
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航空電子設(shè)備的地面支持設(shè)施
環(huán)境研究
隨著人們對(duì)全球氣候變化的關(guān)注度日益上升，以及對(duì)了解其潛在影響的需要，這都使科學(xué)界更專注于獲得*為精準(zhǔn)和可靠的數(shù)據(jù)，以提供*佳的結(jié)果和結(jié)論。
應(yīng)用包括：
海洋學(xué) 
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波浪和潮汐測(cè)量儀器
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錨固和漂移的數(shù)據(jù)浮標(biāo)
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海嘯預(yù)警系統(tǒng)
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海底測(cè)繪
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遙控車輛（ROV）
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水下自控車輛（AUV）
氣象 
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遠(yuǎn)程天氣監(jiān)測(cè)站
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水面數(shù)據(jù)浮標(biāo)
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GPS技術(shù)
水文 
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大壩和水庫液位感測(cè)
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河流測(cè)量
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靜水槽測(cè)量
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壓力計(jì)更換
發(fā)電
世界能耗需求增長非常快，這種速度超出了供應(yīng)能力。 RPS/DPS 8000壓力傳感器設(shè)計(jì)用于各種應(yīng)用，提高了燃油控制效率和燃?xì)鉁u輪機(jī)流量的關(guān)鍵監(jiān)測(cè)效率。 這種傳感器還有可能用于核能、風(fēng)能和地?zé)崮艿葢?yīng)用場(chǎng)合。
工業(yè)
改進(jìn)試驗(yàn)和提高效率的需求促使這一廣闊的細(xì)分市場(chǎng)中的各種應(yīng)用不斷發(fā)展。汽車試驗(yàn)、試驗(yàn)臺(tái)、測(cè)漏系統(tǒng)和工業(yè)研發(fā)都圍繞改善結(jié)果和性能這個(gè)主題，這需要具有較高的測(cè)量精度。
計(jì)量
對(duì)測(cè)量設(shè)備性能進(jìn)行校準(zhǔn)和驗(yàn)證的能力一直是確保獲得*佳結(jié)果的完整部分。隨著測(cè)量設(shè)備性能的提高，校準(zhǔn)和驗(yàn)證設(shè)備也必須隨之提高。 RPS/DPS 8000可以作為實(shí)驗(yàn)室和便攜式校準(zhǔn)儀器的內(nèi)部或外部參考標(biāo)準(zhǔn)。
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德魯克的PACE 6000壓力控制器/指示器
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